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半導體壓力傳感器的重要特點與參數(shù)

時間:2022-01-12 點擊次數(shù):

伴隨著半導體技術(shù)的發(fā)展,半導體壓力傳感器也進入了歷史階段。其特點是體積小、重量輕、精度高、溫度特性好。特別是隨著傳感器技術(shù)的發(fā)展,半導體傳感器發(fā)展為微型,功耗低,可靠性高。

微壓傳感器體積小、超薄、防水、防油,廣泛應(yīng)用于空氣動力學、生物醫(yī)學、化學爆炸或核爆炸沖擊波等研究領(lǐng)域。

◇量程范圍廣;

◇固有頻率高;

◇體積小,動態(tài)響應(yīng)頻率高;

微壓力傳感器最小直徑2.54毫米,長度3.77毫米。

◇FS精度高,最高可達0.1%;

◇溫度范圍寬,從低溫-40℃到高溫+120℃(特別是+175℃)。

長久穩(wěn)定,能承受各種惡劣環(huán)境。

量程:0~1~150(MPa)

綜合精度:0.2%FS.0.5%FS.1.0%FS。

輸出信號:1.0mv/v.1.5mv/v.2.0mv/v.3mv/v(四線制)

電源電壓:10DCV(6~12DCV)

介質(zhì)溫度:-20~85℃。

常溫(-20~85℃)

負載電阻:

輸出類型:最大800ω;

電壓輸出類型:50kω以上。

絕緣電阻:2000mω以上(100VDC)。

密封等級:IP65。

長期穩(wěn)定性:0.1%FS/年。

當振動影響00Hz機械振動頻率時,輸出變化小于0.1%FS。

電接口(信號接口):四色輸出。

機器連接(螺紋接口):1/2-20UNF.M14×1.5.M20×1.5.M22×1.5等。

工作原理。

1.壓阻壓力傳感器。

電阻應(yīng)變片是壓阻應(yīng)變傳感器的主要組成部分之一。應(yīng)變阻器的工作原理是吸附在基座上的應(yīng)變電阻隨機械變形而變化,通常稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。

2.陶瓷壓力傳感器。

陶瓷壓力傳感器基于壓阻效應(yīng),直接作用于陶瓷膜的前表面,使膜輕微變形。陶瓷膜背面印有厚膜電阻,連接成惠斯通電橋。由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),電橋產(chǎn)生與壓力成正比的高線性電壓信號。標準信號標定為2.0/3.0/3.3mv/V。

3.擴散硅壓力傳感器:

擴散硅壓力傳感器的工作原理也是基于壓力阻力效應(yīng)。利用壓力阻力效應(yīng)原理,測量介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器膜(不銹鋼或陶瓷),產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,改變傳感器的電阻值,利用電子線檢測變化,轉(zhuǎn)換輸出相應(yīng)壓力的標準測量信號。

4.藍寶石壓力傳感器:

硅藍寶石作為半導體敏感元件,利用應(yīng)變電阻原理,具有無可比擬的測量性能。這樣,由硅藍寶石制成的半導體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下也能工作;藍寶石抗輻射性能好;硅藍寶石半導體敏感元件沒有p-n漂移。

5.壓力傳感器:

壓電式傳感器的基本原理是壓電效應(yīng)。由于壓電傳感器在無限制的輸入阻抗情況下,因此無法將壓電傳感器用于靜態(tài)測量。事實并非如此,這決定了壓電傳感器只能測量動態(tài)應(yīng)力。

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